ナノ材料製造装置

単層カーボンナノチューブ製造装置：SWCNT 生産向けの CVD 成長装置とプラズマ直流アーク炉。

単層カーボンナノチューブ CVD 成長装置

単層カーボンナノチューブ（SWCNT）合成用の縦型 CVD 炉。炭化ケイ素炉心管は最大 Φ200 mm、3 ゾーンで最高 1300 °C、連続回収に対応。

5000-7000 °C に達する高周波直流プラズマアーク炉。浮遊触媒法でナノカーボンを成長させ、二重水冷真空チャンバーと全自動排出を備えます。

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